服務產業
半導體相關產業
半導體工業從磊晶,積體電路製造,至晶圓的封裝等,都必須使用大量的超純水。尤其在積體電路製造(晶圓廠),其製程包括光罩,蝕刻,薄膜沈積等,通常要經過數百道;甚至上千道的程序,才能夠完整產出一片(批)晶圓。而在這些製造的過程,都需要非常純淨的水來沖洗,才能進入下一個工序。因此,超純水系統也成了半導體產業不可或缺的角色。

隨著半導體工業的快速發展,對於純水系統的要求也越來越嚴苛;包含水質,溫度,壓力等,都必須符合製程的嚴格要求。只要純水的供應品質出了一點問題,或許整條生產線都會受到影響;甚至停產。
目前對水質要求最高的12” 晶圓廠為例,對於水質的要求大約如下:
- Resistivity : > 18.18 M-Ohm-cm
- TOC : < 0.5~1 ppb
- Particle :> 0.05um, < 5 pcs/ml
- Boron : < 20 ppt
- 金屬離子 : < 1 ppt
- Bacteria : < 1 CFU/l

其他相關產業如封裝廠,對於水質的要求雖然不像晶圓廠那麼高;但是,隨著封裝技術的進步;加上製程設備越來越昂貴的情況下,對於水的供應要求,包含冷卻水等,也都愈趨嚴格。台灣純水科技(股)公司的成員,在半導體相關產業的領域,有超過二十年的經驗;也有非常多的實績;同時,隨著日新月異的要求,我們也同時不斷提升我們的設計與產品品質,以滿足業主的要求。